Комбинированная серия скрубберов термического и плазменного дожига с душеванием
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения комбинации термического и плазменного дожига с душеванием для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов (H2/NH3).
Основные преимущества
- Производительность:
- Модель 1.5К — 1500 л/мин (H2 — 200SLM,Nh2 — 100SLM);
- Модель 3К – 3000 л/мин (H2 — 400SLM,Nh2 — 200SLM);
- Энергоэкономичность при высокой производительности;
- Высокая эффективность очистки;
- Длительный эксплуатационный цикл;
- Простая настройка работы в автоматическом режиме;
- Специальная конструкция, позволяющая избежать проблем с закалкой;
- Основная сфера применения – EPI.
Модельный ряд
| Модель | Газы | Пример |
| NSGB1.5K/3K | Соединения Si | SiH4, SiH2Cl2, TEOS |
| NSGW1.5K | Водорастворимые газы | Cl2, F2, HCl, NH3 |
| NSGC1.5K/3K | Горючие газы | H2, NH3 |
Компоновка системы и технологическая схема
Установка плазменного дожига
Особенности установки плазменного дожига:
- Высокопроизводительный дожиг с помощью дугового зажигания (0,2-0,3 кВт);
- Плавная работа установки плазменного дожига за счёт двухступенчатой подачи воздуха (первый клапан: 10-20 л/мин., второй клапан: 80-150 л/мин);
- Все элементы установки изготовлены из огнеупорных материалов;
- Обеспечение безопасного протекания всех технологических процессов даже если температура в камере не поддерживается на должном уровне из-за повреждения нагревателя.
Камера термического дожига и кожух нагревателя
Особенности камеры дожига:
- Для защиты от вторичного воспламенения газа используется круговая воздушная циркуляция (150 — 200 л/мин);
- Поддержание термической стабильности;
- Сменный нагреватель, состоящий из двух элементов (8 кВт ×2EA).
Водяной резервуар (система душевания)
Особенности системы душевания:
- Замкнутый цикл водяной циркуляции;
- Двухшаговая система регулировки душевания;
- Высокая эффективность охлаждения за счет большого количества распылительных форсунок;
- Мощный циркуляционный насос;
- Два технологических окна для удобства сервисного обслуживания.
Влажная камера
Особенности влажной камеры:
- Дополнительная очистка водорастворимых газов, а также функция охлаждения;
- Использование обычной (не подготовленной воды);
- Высокоэффективная распылительная насадка.
Документы