Водяной скруббер NSOW600

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения спиральной форсунки с использованием многоступенчатой промывки водой, которая обеспечивает максимальную очистку водорастворимых газов.

Основные преимущества

• Производительность – 600 л/мин;
• Антикоррозийная защита (использование коррозионностойких материалов при изготовлении);
• Удобное техническое обслуживание;
• Стабильная работа;
• Низкие эксплуатационные расходы;
• Простота настройки работы в автоматическом режиме;
• Основная область применения — полупроводниковое производство.

Обрабатываемые газы

Состав системы

Впускной узел (опция)

Функции впускного узла:

• Защита от выхода обратного потока газа и влаги с помощью газового затвора N₂;
• Промыв впускного клапана в случае загрязнения.

Распылительная форсунка

Функции распылительной форсунки:

• Очистка водорастворимых газов, таких как NH₃, Cl₂, F₂, HCl, HF, с помощью сконцентрированного распыления воды (душевания);
• Увеличение удельной площади обработки с помощью повышения эффективности душевания.

Промывочная установка

Особенности промывочной установки:

• Вертикальная система слива обеспечивает эффективное удаление осадка;
• Повышение эффективности промывки за счет увеличения площади контакта газа и жидкости;
• Осушение газа после промывки сводит к минимуму содержание влаги на выходе.

Система циркуляции воды

Особенности системы циркуляции воды:

• Снижение расхода воды за счёт использования замкнутого цикла циркуляции;
• Максимальная растворимость обрабатываемых газов;
• Усиленная концентрация воды для ускорения процесса очистки и увеличения объёма обрабатываемого газа;
• Резервуар для воды из коррозионностойкого материала.

Эффективность очистки газов