Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF— это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10^-7Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF.

Роторы турбомолекулярных насосов серииCXFимеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в режиме реального времени. Контроллер насоса отслеживает дисбаланс и выдает динамический компенсирующий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу исключить возникновение вибраций и обеспечить его стабильную и надежную работу.

Роторы насосов изготовлены из соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению с роторами из алюминиевого сплава, роторы турбомолекулярных насосов серииCXFимеют значительно меньший вес и более высокую прочность, тем самым обеспечивая высокую скорость вращения, высокую производительность и высокую надежность.

Все насосы оснащены системой защиты от коррозии, поверхности деталей насосов обрабатываются по специальной технологии, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, опционально насосы могут оснащаться продувочным портом инертным газом (азотом) для защиты области низкого вакуума.

Дополнительно, для работы на тяжелых агрессивных процессах, таких как травление, разработана специальная химически стойкая версия насосов CV, оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры для того, чтобы в процессе работы в насосе не происходило осаждения и конденсации агрессивных газов на поверхностях насоса.