Инспекционный микроскоп для контроля качества полупроводниковых изделий MX68R
Модель инспекционного микроскопа MX68R оснащена держателями 4, 6 и 8 дюймов и применяется для инспекции полупроводниковых пластин диаметром до 200мм и плоских дисплеев с диагональю до 11 дюймов.
Габаритный чертёж
Основные преимущества
- Регулируемый угол наклона окулярных трубок (0-35⁰) позволяет подобрать оптимальный угол зрения, что сокращает утомляемость от длительной работы с микроскопом и значительно повышает её эффективность.
- На лицевой панели микроскопа расположены кнопки управления револьвером объективов и апертурной диафрагмой, что повышает удобство эксплуатации.
- Микроскоп MX68R оснащен двумя стальными стержнями по бокам рамы, создающими рычаг для удержания нагрузки.
- Светосильная диафрагма автоматически настраивается на различные цели, а система адаптивной подсветки автоматически включается в условиях затемнения.
- Удобный и устойчивый столик, оснащённый системой ручного управления, которая позволяет легко и плавно перемещать сцену.
Аксессуары для инспекционного микроскопа MX68R
ОКУЛЯРЫ С ШИРОКИМ ПОЛЕМ ЗРЕНИЯ
- Окуляр 10X/22 мм для сохранения чёткости изображения по всему полю зрения;
- Окуляр 10X/23 мм позволяет получить максимально возможное поле зрения.
ОБЪЕКТИВЫ С БОЛЬШИМ РАБОЧИМ РАССТОЯНИЕМ
- В серии профессиональных полуапохроматических металлографических объективов установлены высококачественные линзы с просветляющим покрытием;
- Объективы с увеличенным рабочим расстоянием эффективно предотвращают повреждения образца.
Доступные объективы
| Объектив | Кратность увеличения | Числовая Апертура (N.A.) | Рабочее фокусное расстояние, мм | Парфокальное – сопряжённое фокусное расстояние, мм |
| Полуапохроматический металлографический ДИК-объектив с бесконечной фокусировкой в светлом и темном поле | 5X 10X 20X 50X 100X | 0.15 0.30 0.50 0.80 0.90 | 13.5 9.0 2.5 1.0 1.0 | 45 — ∞ |
| Полуапохроматический металлографический объектив с бесконечно длинной фокусировкой в светлом и темном поле | 20X 50X 100X | 0.40 0.55 0.80 | 8.5 7.50 2.10 | 45 — ∞ |
| Полуапохроматический ДИК-объектив с бесконечной фокусировкой в светлом поле | 5X 10X 20X 50X 100X | 0.15 0.30 0.50 0.80 0.90 | 19.5 10.9 3.2 1.2 1.0 | 45 — ∞ |
СИСТЕМА ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННО-КОНТРАСТНОЙ МИКРОСКОПИИ (ДИК-микроскопия Номарского)
- При наблюдении в отраженном свете, ДИК-микроскопия позволяет создать объемное рельефное изображение за счет контрастности, зависящей от перепадов высоты на исследуемой поверхности;
- ДИК-микроскопия широко применяется для обнаружения дефектов (частиц, царапин) при проведении визуального контроля изделия.
Основные технические характеристики инспекционного микроскопа MX68R
| Оптическая система | скорректированная на бесконечность | |
| Режим наблюдения | светлое поле / Темное поле / Поляризация / ДИК-микроскопия | |
| Тубус | тринокулярная головка на 5-35° (перевернутое изображение), регулировка межзрачкового расстояния на 50-76мм, деление светового потока: 100:0 или 0:100 | |
| Окуляры | PL10X/22 мм — с высокой окулярной точкой, широким полем зрения и с возможностью установки микрометра | |
| PL10X/23 мм — с высокой окулярной точкой, широким полем зрения, с диоптрической настройкой и с возможностью установки микрометра | ||
| Объективы | полуапохроматический объектив для светлого и темного поля с увеличением 5X/10X/20X | |
| полуапохроматический объектив со сверхбольшим рабочим расстоянием для светлого и темного поля с увеличением 20X | ||
| полуапохроматический объектив с большим рабочим расстоянием для светлого и темного поля с увеличением 50X/100X | ||
| полуапохроматический объектив для светлого и темного поля с увеличением 50X/100X | ||
| Револьверная головка | револьверная головка для светлого и темного поля с 6-ю объективами, оснащенными разъемами для ДИК-призмы | |
| Рама | рама микроскопа для отраженного света с коаксиальным механизмом фокусировки с ходом 35 мм и точностью 0,001 мм, с регулировкой верхнего предела фокусировки и регулировкой усилия, со встроенным блоком питания с диапазоном напряжений 100В — 240В | |
| рама микроскопа для отраженного и проходящего света с коаксиальным механизмом фокусировки с ходом 35 мм и точностью 0,001 мм, с регулировкой верхнего предела фокусировки и регулировкой усилия, со встроенным блоком питания с диапазоном напряжений 100В -240В | ||
| Столик | 8-дюймовый трехуровневый механический столик размером 525мм X 330мм с рукояткой для быстрой коаксиальной регулировки с ходом 210мм X 210мм, стеклянная вставка | |
| Осветитель | Осветитель отраженного света с электронной регулируемой диафрагмой и полевой диафрагмой, регулируемой по центру; с переключателем для изменения яркого и темного поля; со слотами для фильтров и поляризационного комплекта | |
| Адаптер камеры | 0,5X / 0,65X / 1X C-mount adapter | |
| Дополнительные аксессуары | поляризационный комплект, интерференционный фильтр, высокоточный микрометр, ДИК-призма | |
Документы