Автоматические зондовые станции ZHS-606
Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов и интегральных микросхем. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме.
Рабочая платформа
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 4”, 5”, 6” |
| Диапазон перемещения X-Y | 240 x300мм |
| Точность позиционирования X/Y | <±0.01мм@160мм |
| Разрешение X/Y | 0.001 мм |
Держатель пластины
| Параметр | Значение |
| Диапазон перемещения по Z | 10мм |
| Точность позиционирования Z | <±0.003 мм |
| Разрешение Z | 0.001 мм |
| Угол поворота ϴ | ±10° |
| Разрешение по ϴ | 0.0013° |
Документы