Специальная зондовая станция ZHS-606T
Полностью автоматическая зондовая станция, имеющая функции автоматического выравнивания пластины, автоматического позиционирования и тестирования кристаллов. Наряду с этим, имеется функция идентификации пластин поID. Программное обеспечение включает в себя множество других функция, предоставляя пользователю широкие возможности по проведению тестов и позволяет значительно улучшить эффективность производства. Перечень применений включает в себя тестирование / получение характеристик I-V, C-V с пластин, микроэлектронных устройств, высоковольтных и оптоэлектронных приборов и др.
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 4”, 5”, 6” |
| Размер шага | 0,005 —100мм |
| Диапазон перемещения рабочей платформыX-Y | 180 x 240мм |
| Скорость перемещения X/Y | >200мм/сек |
| Точность позиционирования X/Y | <±0,01 мм @160 мм |
| РазрешениеX/Y | 0,001 мм |
| Диапазон перемещение держателя пластины поZ | 10мм |
| Точность позиционирования Z | <±0,003 мм |
| РазрешениеZ | 0,001 мм |
| Угол поворотаϴ | ±10° |
| Разрешение по ϴ | 0,0013° |
| Загрузка пластин | Ручная |
Документы